MEMS激光雷达技术原理

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posted on 08 Sep 2021 under category 工程技术

前面介绍了大疆Livux双棱镜激光雷达技术,这种技术的创新点是,通过 旋转双棱镜,让少数激光头覆盖较大的区域,从而降低成本。缺点是 旋转双棱镜是机械部件,依然有稳定性问题。

自然大家就会想到,如果用 电子技术实现反射镜的可控偏转,那么就可以移除所有机械部件,大幅提升稳定性。有没有这种技术呢?

有,TI DLP投影仪,其实就是通过特殊的MEMS芯片控制成千上万个微型反射镜,实现投影功能: MEMS1

具体可以看这个视频

如果把这个小镜子做大一点,通过电场控制镜子在X和Y轴上的偏转角度,就可以用一个激光发射器,扫描多个角度。

MEMS2 MEMS3

MEMS技术的缺点,Livux自己的解释:“本质上,我们不排斥对任何一种技术路径的探索,我们的前瞻预研团队也面向各种扫描技术进行研究。在我们看来,MEMS是一种已经广泛应用在各个工业领域的成熟技术,但对于激光雷达所需的大口径MEMS(3mm以上双轴扫描)来说,这套方案是未经过真正量产验证的,其在批量制造的一致性、成本、自动化组装固定、内外应力扭曲形变、高低温变形等方面存在较多的难点。”